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光学轮廓仪主要功能

2017-11-21

  共聚焦 (Confocal Profiling)
 
  共聚焦轮廓仪可以测量较光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虚焦部分光线的共焦成像系统,可提供高对比度的图像。籍由表面的垂直扫描,物镜的焦点扫过表面上的每一个点,以此找出每个像素位置的对应高度(即共聚焦图像)。
 
  共聚焦轮廓仪可以由其光学组件实现超高的水平解析度,空间采样可以减小到0.10μm,这是一些重要尺寸测量的理想选择。高数值孔径NA(0.95)和放大倍率(150X和200X)的物镜可测量斜率超过70°的光滑表面。neox具有极高的光效,专有的共聚焦算法可提供纳米级的垂直方向重复性。超长工作距离(SLWD)可测量高宽比较大、形状较陡的样品。
 
  干涉(Interferometry)
 
  PSI 模式 (PSI Profiling)
 
  相位差干涉仪 (Phase Shift Interferometers)可以亚纳米级的分辨率测量非常光滑与和连续的表面高度。必须准确对焦在样品上,并进行多步垂直扫描,步长是波长的的分数。PSI算法借助适当的程序将表面相位图转换为样品高度分布图。
 
  PSI模式可在所有的数值孔径(NA)下提供亚纳米级的垂直分辨率。放大倍率较小时(2.5X)可以测量较大视场范围,并具有同样的垂直分辨率。但是光波相干长度使其测量范围限制在微米级。PSI算法使neox 得到纳米尺度的形态特征,并以亚纳米尺度对超平滑的表面纹理参数作出评估。
 
  VSI 模式 (VSI Profiling)
 
  白光干涉仪 (White-Light Vertical Scanning Interferometers)可用于测量光滑表面或适度粗糙表面的高度。当样品表面各个点处于zui佳焦点位置时可得到zui大干涉条纹对比度。多步垂直扫描样品,表面上的每一个点会通过对焦点,通过检测干涉条纹峰值得到各像素位置的高度。
 
  VSI模式可在所有的数值孔径(NA)下提供纳米级垂直分辨率。VSI算法使neox在各放大倍率下得到具有相同垂直分辨率的形态特征。其测量范围在理论上是无限的,尽管在实践中其将受限于物镜实际工作距离。扫描速度和数据采集速率可以非常快,当然这会导致一定程度垂直分辨率损失。※薄膜测量 (Thin Film)
 
  光谱反射法是薄膜测量的方法之一,因为它准确、无损、迅速且无需制备样品。测量时,白光照射到样品表面,并将在膜层中的不同界面反射,并发生干涉和叠加效应。结果,反射光强度将显示出波长变化,这种变化取决于薄膜结构不同层面的厚度和折射率。软件将测得的真实光谱同模拟光谱进行比较拟合,并不断优化厚度值,直到实现zui佳匹配。

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